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一種鉬鈮合金濺射靶材的制備工藝
上海矽諾國(guó)際貿(mào)易有限公司 2020-11-04 點(diǎn)擊1465次
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（1）將鉬粉和鈮粉（純度均為≥99 .95%，粒徑分別為25μm和40μm）按照重量比為10:1的比例裝入球磨機(jī)中，然后加入硬脂酸乙酯和氧化鋯磨球（粒徑1 .5mm），在氬氣保護(hù)下進(jìn)行球磨，所述的球磨時(shí)間為150min，球磨轉(zhuǎn)速為800r/min，過篩，分離得到粒徑為8μm鉬鈮合金復(fù)合粉末；
所述硬脂酸乙酯、氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0 .05、20倍；
（2）將步驟（1）鉬鈮合金復(fù)合粉末抽真空處理，接著進(jìn)行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為250MPa，保壓時(shí)間為6min，得到壓制毛坯；
（3）將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為2200℃，燒結(jié)時(shí)間5 h，得到靶材毛坯；
（4）將靶材毛坯經(jīng)過機(jī)械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無孔洞，平均晶粒尺寸65μm，密度9 .86g/cm3。