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上海矽諾國際貿(mào)易有限公司 2020-04-28 點擊3632次
用于制作薄膜晶體管液晶顯示面板的金屬靶材，以鋁靶、銅靶、鉬靶和鉬鈮合金靶為主，部分平板顯示企業(yè)也會用到鈦靶、鉭靶、鈮靶、鉻靶以及銀靶等。但由于各家企業(yè)所采用的濺射工藝不同，其所選的濺射靶材也有區(qū)別，例如，京東方用銅靶、鋁靶、鉬靶和鉬鈮靶，韓國三星用鉭靶、鈦靶，但不用鉬鈮靶，中電熊貓用鈦靶，但不用鉬靶、鉭靶等。本文主要以鋁靶、銅靶、鉬靶以及鉬鈮合金靶為主要研究討論對象，具體如圖2 所示。
供應(yīng)格局
( 1) 鋁靶: 目前國內(nèi)液晶顯示行業(yè)用鋁靶材主要被日資企業(yè)主導(dǎo)。
外企方面: 愛發(fā)科電子材料( 蘇州) 有限公司大約占據(jù)國內(nèi)50%左右的市場份額。其次，住友化學(xué)也占有一部分市場份額。國產(chǎn)方面: 江豐電子從2013 年左右開始介入鋁靶材，目前已大批量供貨，是國產(chǎn)化鋁靶材的龍頭企業(yè)。另外，南山鋁業(yè)、新疆眾和等企業(yè)也具備高純鋁的生產(chǎn)能力。
( 2) 銅靶: 從濺射工藝的發(fā)展趨勢上來講，對銅靶材的需求比例一直在逐步增加，加之，近幾年國內(nèi)液晶顯示行業(yè)的市場規(guī)模一直在不斷擴大，因此，平板顯示行業(yè)對銅靶材的需求量將繼續(xù)呈上升趨勢。外企方面: 愛發(fā)科電子材料( 蘇州) 有限公司幾乎壟斷著國內(nèi)銅靶材市場，市場占有率在80% 以上，且該公司近幾年營收的增加額，主要來自于銅靶材銷量的增加。
國產(chǎn)方面: 有研新材具備高純銅原料生產(chǎn)能力，但沒有液晶顯示行業(yè)用的條形靶材生產(chǎn)線，目前主要致力于半導(dǎo)體行業(yè)用圓形靶材生產(chǎn); 洛銅集團具備高純銅生產(chǎn)能力但不生產(chǎn)靶材，且高純銅原料價格和進口原料相比，在價格方面無明顯競爭優(yōu)勢; 江豐電子引進海外高端人才，致力于開發(fā)高純銅原料和銅靶材，即將批量生產(chǎn)。
( 3) 鉬靶: 鉬靶具體又分為條靶、寬靶和管靶3種，其中，4. 5 代、5. 5 代和6 代線一般使用寬幅鉬靶，而8. 5 代及以上世代線用使用組合條靶或管靶。
組合條靶:外企方面: 國外的奧地利攀時、德國世泰科、日本愛發(fā)科等企業(yè)已基本退出了這部分市場。國產(chǎn)方面: 國內(nèi)鉬靶材企業(yè)主要集中在洛陽地區(qū)，其中，隆華節(jié)能下屬的洛陽高新四豐電子材料有限公司占據(jù)了國內(nèi)60% 多的市場份額，另外，洛陽高科鉬鎢材料有限公司占據(jù)了國內(nèi)大約10% 左右的市場份額。
寬幅鉬靶:外企方面: 國外的攀石、世泰科等企業(yè)基本壟斷著國內(nèi)寬幅鉬靶材市場。
國產(chǎn)方面: 截止2017 年底，國產(chǎn)化的寬幅鉬靶材尚未在液晶顯示面板生產(chǎn)中獲得實際應(yīng)用。但國內(nèi)多家企業(yè)正在積極試制和驗證，預(yù)計2018 年應(yīng)該能夠?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)化應(yīng)用。
其中，洛陽高新四豐電子材料有限公司已于2017 年3 月31 日召開寬靶技術(shù)鑒定會，但尚未在下游企業(yè)取得正式批量應(yīng)用; 西安格美金屬材料有限公司也在積極研制寬幅靶材，并大力拓展下游企業(yè)應(yīng)用; 阿石創(chuàng)和金鉬股份這兩家上市公司利用各自在寬幅靶材軋制和靶材加工及銷售方面的優(yōu)勢，開展緊密合作，金鉬股份向阿石創(chuàng)銷售寬幅鉬靶坯和條形鉬靶坯( 條形靶坯由寬幅靶坯切割而成) ，阿石創(chuàng)負責后續(xù)綁定等工序和成品銷售工作。
鉬管靶:8. 5 代線［4］用的鉬管靶，每套包含12 根，每根單重約為300 kg，每套重量約為3600 kg。由于鉬管靶的實際利用率約為70%，因此，每套鉬管靶的成膜重量約為2500 kg。每條8. 5 代線對鉬管靶的需求量約為30 × 103 kg /年。
另外，鉬管靶的供應(yīng)商，除了要通過其面板生產(chǎn)企業(yè)的認證外，還要通過鉬管靶濺射設(shè)備生產(chǎn)商美國AKT 公司的認證，并且要被收取鉬管靶售價約5%的認證費。目前，國內(nèi)采用管靶濺射設(shè)備的生產(chǎn)線只有1 條，而且業(yè)內(nèi)普遍認為鉬管靶的發(fā)展空間
并不大。
( 4) 鉬鈮10 合金靶:鉬鈮10 合金作為薄膜晶體管的擴散阻隔層鉬-鋁-鉬的重要替代材料，市場需求前景較好。但由于鉬原子與鈮原子的互擴散系數(shù)差別很大，通過高溫燒結(jié)后鈮顆粒的位置會產(chǎn)生大孔洞，燒結(jié)致密度難以提高，此外，鉬原子與鈮原子充分擴散后會形成很強的固溶強化，導(dǎo)致其壓延性能惡化。西部金屬材料股份有限公司下屬西安瑞福萊鎢鉬有限公司，和愛發(fā)科電子材料( 蘇州) 有限公司合作，經(jīng)多次試驗攻關(guān)，已于2017 年成功軋制出了氧含量小于1000 × 10 － 6，致密度達99. 3%的Mo-Nb 合金靶坯。