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點陣壓痕可以獲得硬度(HIT)和彈性模量(EIT)，統(tǒng)計結(jié)果用雙模高斯分布進行分析，用硬度HIT來舉例 (彈性模量EIT直接替換) 公式為：

其中，參數(shù)μ1和μ2均為單相的平均硬度，σ1和σ2分別對應于不同個體分布的標準方差，參數(shù)p表示相分數(shù)。

點陣式壓痕測試不僅需要定義兩個相鄰壓痕點之間的距離，同時還要定義單個壓痕點的壓入深度。我們來看下圖1，當壓入深度遠大于第二相的尺寸時，就會造成結(jié)構(gòu)中兩相結(jié)果的疊加，從而不符合測試需求。因此，需要定義壓入深度遠小于第二相尺寸，這樣才能對兩種不同的相進行區(qū)分。

可知定義相鄰兩壓痕點間的距離和單個點的壓入深度極其重要，從而點陣壓痕的最大載荷是2mN；加載和卸載時間為10 秒，在最大載荷處保載5秒，并以5μm為間隔制作20x20個壓痕點陣。

所測試的材料為采用HVOF方法制備的陶瓷-金屬涂層：WC-17%Co，Cr3C2-25%NiCr，以下簡稱為WCCo和CrCNiCr。圖2展示的是WCCo和CrCNiCr的微觀結(jié)構(gòu)，是典型的碳化物硬質(zhì)顆粒混在金屬基體中。

圖3展示的是對于點陣壓痕測試結(jié)果中彈性模量進行統(tǒng)計分析，包含了概率密度圖以及對測試樣品進行雙峰高斯分布擬合。可以了解到WCCo和CrCNiCr涂層包含了兩種不同的力學性能擬合峰值，即對應了兩種不同的相結(jié)構(gòu)。對于WCCo涂層，雙峰高斯分布中金屬基體的彈性模量和硬質(zhì)合金顆粒的彈性模量分別是274GPa和 368GPa。對于CrCNiCr涂層，金屬基體的彈性模量是219GPa，而硬質(zhì)合金顆粒的彈性模量是310GPa。這些值與相似成分的塊體材料的彈性模量顯示一致性。

采用點陣壓痕模式結(jié)合高斯擬合表征非均質(zhì)結(jié)構(gòu)的方法，在Anton-Paar NHT3納米壓痕儀上得到了很好驗證。這樣表征的方法不僅能表征非均質(zhì)材料的力學性能，還能獲得力學性能的分布情況等信息，為新材料的研發(fā)和應用提供方向和助力。