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天津中環(huán)電爐股份有限公司
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產(chǎn)品用途
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成
PECVD系統(tǒng)配置；
1.1200度開啟式滑動單溫區(qū)真空管式爐
2.等離子射頻電源
3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
4.真空系統(tǒng)（單獨購買）
產(chǎn)品特點
電源范圍廣；溫度范圍寬；濺射區(qū)域長；整管可調(diào)；精致小巧，性價比高，可實現(xiàn)快速升降溫，是實驗室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。
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企業(yè)名稱
天津中環(huán)電爐股份有限公司企業(yè)類型
信用代碼
91120113700587236G法人代表
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成立日期
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