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一、產(chǎn)品特色

（1）該款設(shè)備是小型浮動催化 CVD 系統(tǒng)，配備真空系統(tǒng)，可以低壓條件下進行實驗；設(shè)備配有雙向推拉注射泵、氧分析儀、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等組件。

（2）加熱爐為三溫區(qū)立式爐，上端法蘭配有導(dǎo)液桿（可上下調(diào)節(jié)）和 1 個進氣口；下端法蘭配有安全保護泄壓裝置，底部配有收集罐，收集罐放置于小車上便于移動，真空系統(tǒng)方面由一個電阻規(guī)和一臺 BSV30機械泵組成；尾部配有不銹鋼過濾裝置；加熱爐爐體為密封結(jié)構(gòu)，同時備有可通循環(huán)氣體的進出口。

（3）防爆控制柜配有 15 寸觸摸屏及按鈕操作組件，下方配有氧分析儀、觸摸防爆鼠標以及氣路手閥組件；柜體左側(cè)配有可切換鼓泡裝置的組件；*頂部箱體配有雙向推拉注射泵，供液體連續(xù)工作。

二、技術(shù)參數(shù)