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安徽貝意克設備技術(shù)有限公司
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一、設備簡介
BTF-1600C-CVD-D2是一臺非標定制的多源高溫CVD系統(tǒng)。本設備按客戶要求加裝剛玉管一支，加熱爐，循環(huán)泵、排風系統(tǒng)、機架等。電氣控制采用內(nèi)置控溫儀表，其控溫精準且操作直觀簡便。儀表采用國內(nèi)**品牌，質(zhì)量精確可靠。爐管為剛玉管，外徑￠60m，長度1000mm。爐管橫放固定于爐膛內(nèi)。左端法蘭為進氣端，配有壓力保護組件和2個進氣口，其中一路由截止閥控制，為進混氣；另外一路為環(huán)硼氮烷，通過電磁閥+單向閥控制；右端法蘭為出氣端，配有蝶閥控制的壓力控制系統(tǒng)和真空泵組成，法蘭前端配有攪拌機構(gòu)，對于尾端沉積物料具有清理作用，同時配有過濾組件。設備進氣端液態(tài)源蒸發(fā)組件制冷制熱由循環(huán)泵工作，通過循環(huán)泵工作，以及管道保溫及腔體保溫隔絕等方法實現(xiàn)低溫、高溫下的切換。液態(tài)源密封腔室和加熱爐密封腔室，均通過PVC管道連接至腔室頂部，通過管道風機與客戶排風系統(tǒng)對接。本設備采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式。爐體和門板顏色采用深灰+時尚橘紋白。設備簡約又不乏穩(wěn)重，更具備操作直觀方便、控溫精確等性能。
二、技術(shù)參數(shù)
額定功率 | 6.5KW |
額定電壓 | AC 220V 50/60Hz |
**溫度 | 1600℃ |
使用溫度 | ≤1350℃ |
推薦升溫速率 | 1400℃以下≤10℃/min；1400℃-1600℃≤5℃/min |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制 |
加熱區(qū)長度 | 300mm |
爐管尺寸 | 剛玉管Φ60×1000mm |
熱電偶 | B型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 硅鉬棒（6根） |
爐體尺寸 | 1930*1450*1935mm |
凈重 | 500Kg |
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