手機(jī)版
關(guān)于我們
加入收藏
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
4 年
金牌會(huì)員
金牌會(huì)員
已認(rèn)證
撥打電話
獲取底價(jià)
提交后，商家將派代表為您專人服務(wù)
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
金牌會(huì)員已認(rèn)證
一、設(shè)備簡介：
該設(shè)備為我司研發(fā)用于材料連續(xù)生長的專用設(shè)備，此款設(shè)備是快速冷卻卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)CVD連續(xù)生長爐，它由高溫生長腔體，質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)，真空機(jī)組，RF射頻電源模塊，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成，兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室（即收放卷的密封裝置），收放密封裝置內(nèi)分別對(duì)應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長的優(yōu)點(diǎn)。
二、技術(shù)參數(shù)
1.加熱系統(tǒng)
使用溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐管尺寸 | Φ150mm（爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。） |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。 |
加熱長度 | 200+200+200mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 單相，220V，50Hz |
2、PE系統(tǒng)
功率輸出范圍 | 0W~1000W |
反射功率 | ≤200W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
整機(jī)效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 200sccm，500sccm、1000sccm（可根據(jù)用戶要求定制） |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
線性 | ±1%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
壓力 | ≤3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
4、低真空機(jī)組
空氣相對(duì)濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 380V |
抽氣速率 | 32m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa（空載冷態(tài)） |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
進(jìn)氣口口徑 | KF40 |
排氣口口徑 | KF40 |
連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
大口徑動(dòng)態(tài)plasma輔助法卷對(duì)卷式石墨烯制備設(shè)備的工作原理介紹？大口徑動(dòng)態(tài)plasma輔助法卷對(duì)卷式石墨烯制備設(shè)備的使用方法？大口徑動(dòng)態(tài)plasma輔助法卷對(duì)卷式石墨烯制備設(shè)備多少錢一臺(tái)？大口徑動(dòng)態(tài)plasma輔助法卷對(duì)卷式石墨烯制備設(shè)備使用的注意事項(xiàng)大口徑動(dòng)態(tài)plasma輔助法卷對(duì)卷式石墨烯制備設(shè)備的說明書有嗎？大口徑動(dòng)態(tài)plasma輔助法卷對(duì)卷式石墨烯制備設(shè)備的操作規(guī)程有嗎？大口徑動(dòng)態(tài)plasma輔助法卷對(duì)卷式石墨烯制備設(shè)備的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？大口徑動(dòng)態(tài)plasma輔助法卷對(duì)卷式石墨烯制備設(shè)備有現(xiàn)貨嗎？大口徑動(dòng)態(tài)plasma輔助法卷對(duì)卷式石墨烯制備設(shè)備包安裝嗎？相關(guān)產(chǎn)品
更多
企業(yè)名稱
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司企業(yè)類型
信用代碼
91340100591423143H法人代表
注冊(cè)地址
成立日期
注冊(cè)資本
有效期限
經(jīng)營范圍
虛擬號(hào)將在 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
