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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

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告別低效燒制,貝意克助您邁向連續(xù)進出料CVD時代!BTF-1200C-III-3D-CVD-D210

告別低效燒制,貝意克助您邁向連續(xù)進出料CVD時代!BTF-1200C-III-3D-CVD-D210
貝意克  2024-04-25  |  閱讀:1253

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化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposition,CVD)是應(yīng)用氣態(tài)物質(zhì)在固體上產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)和傳輸反應(yīng)等并產(chǎn)生固態(tài)沉積物的一種工藝。安徽貝意克多年來堅持在技術(shù)和產(chǎn)品方面持續(xù)創(chuàng)新,最新研發(fā)BTF-1200C-III-3D-CVD-D210智能型連續(xù)進出料CVD設(shè)備,為您提供了一種全新的解決方案,告別低效燒制,貝意克助您邁向連續(xù)進出料CVD時代!


高效率:設(shè)備在使用過程中,可以在加熱爐不停止加熱的情況下,連續(xù)進料、出料;與常規(guī)加熱設(shè)備相比,省去了因加熱爐升溫、降溫過程中等待的時間,極大的提高了設(shè)備的使用效率。


操作便捷:左右進出料采用智能推拉機構(gòu),可實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下將載具推送進高溫爐或?qū)⑤d具拉離高溫爐,操作更方便。


安全、低能耗:設(shè)備表面溫度<60℃,有效保護科研人員和材料;省去多次升溫頻率,能耗低節(jié)能更環(huán)保,適合工業(yè)化生產(chǎn)。


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貝意克智能型連續(xù)進出料CVD設(shè)備包含主要由七大部分,進料腔,大口徑管式爐、出料腔、推拉機構(gòu)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、以及自動化控制軟件組成。廣泛應(yīng)用于納米材料、半導(dǎo)體、金屬材料、特種陶瓷等新材料研發(fā)。


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BTF-1200C-III-3D-CVD-D210智能型連續(xù)進出料CVD設(shè)備

特征


進/出料腔

我們設(shè)備的左側(cè)進料腔和右側(cè)的進料腔均配有一個16mm的推料桿,可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下推送載具進入高溫爐內(nèi);進料腔右側(cè)法蘭通過氣動插板閥與高溫爐鏈接和隔斷,可以實現(xiàn)進料腔和高溫管式爐相互獨立工作,互不干擾。


高溫生長爐

該設(shè)備是大口徑管式爐采用優(yōu)質(zhì)電阻絲加熱,最高使用溫度可達1100℃,加熱區(qū)長度為150+300+150mm,采用3段控溫且每段上下兩點控溫的方式,可有效提高溫差均勻性;同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能,大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。


智能推拉機構(gòu)

進料腔左側(cè)密封法蘭上配有推料桿及軌道;出料腔右側(cè)密封法蘭上配有拉料桿及軌道;可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下將載具推送進高溫爐或?qū)⑤d具拉離高溫爐,智能推拉機構(gòu),操作更為便捷。


三路供氣系統(tǒng)可自由調(diào)節(jié)流速可混氣

該設(shè)備包含3部分供氣系統(tǒng),進料腔配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體供氣裝置,高溫生長爐配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體混氣裝置,出料腔配備1路質(zhì)量流量計惰性氣體供氣裝置;共計5路質(zhì)量流量計。(可按客戶需求定制真空系統(tǒng))



三套真空系統(tǒng) 按客戶需求定制

該設(shè)備的進料腔配備1套機械泵(機械泵抽速16m3/h、型號DRV-16),高溫生長爐1套機械泵(機械泵抽速24m3/h、型號DRV-24),出料腔配備1套機械泵(機械泵抽速16m3/h、型號DRV-16)。


彩色觸摸屏數(shù)字控制系統(tǒng)

采用觸摸屏自動控制,參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便,可進行溫度、時間等參數(shù)快速設(shè)定;參數(shù)自動記錄保持,一鍵操作。具有人性化,直觀化,集成度高,控制工藝成熟,系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,性價比高等優(yōu)點。


一站式服務(wù)規(guī)劃

量身打造的解決方案,個性化的建議

想要根據(jù)用戶的需求定制合適的產(chǎn)品,就要考慮到各種不同因素。我們?yōu)橛脩籼峁┤嬷С?,從產(chǎn)品下單到交付到售后運維的設(shè)備全生命周期內(nèi)服務(wù),我們擁有業(yè)界領(lǐng)先的技術(shù),始終如一的產(chǎn)品質(zhì)量;全面的客戶服務(wù),經(jīng)驗豐富且專業(yè)的銷售和技術(shù)支持團隊;現(xiàn)場支持能力,貝意克銷售就在客戶身邊,隨時為客戶提供服務(wù)。


設(shè)備參數(shù) 

可按客戶需求定制


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