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導(dǎo)語

BTF-1400C-II-OP-R多功能回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)是貝意克推出的一款代表產(chǎn)品。設(shè)備采用集成化設(shè)計，兩個溫區(qū)可獨(dú)立控制，最高使用溫度可達(dá)1400度，廣泛應(yīng)用于科研院所和高端制造領(lǐng)域。

一設(shè)備特點(diǎn)：

1、此款設(shè)備提供一個雙溫區(qū)的溫場，兩個溫區(qū)可獨(dú)立控制。

2、保溫材料采用氧化鋁纖維防塵處理，爐膛可開啟。

3、加熱元件采用硅碳棒，最高使用溫度可以達(dá)到1400度，使用壽命長，溫場流場均勻。

4、采用觸摸屏和工控電腦自動控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動記錄保持。

5、設(shè)備集成化設(shè)計、以及集成化管理，美觀方便。

二設(shè)備組成：

1、加熱系統(tǒng)：

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統(tǒng)。

高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號，同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護(hù)功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。

2、爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)：

爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào)，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運(yùn)行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻。

3、供氣系統(tǒng)：

供氣系統(tǒng)是一種可控制3種氣體按不同流量進(jìn)氣的裝置，浮子流量計安裝于密封的可移動機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

4、真空系統(tǒng)：

真空系統(tǒng)內(nèi)部安裝機(jī)械泵1臺，電阻真空計1套，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。

三加熱主體設(shè)備技術(shù)參數(shù)：

1、石英腔體尺寸：中間外徑?100* 端頭外徑?60*長度1400mm

2、剛玉腔體尺寸：φ60*1400mm

3、爐膛保溫材料：氧化鋁纖維

4、表面溫度：≤60℃

5、加熱元件：硅碳棒

6、加熱區(qū)數(shù)量：2區(qū)，獨(dú)立控溫

7、加熱區(qū)長度：300+300mm

8、最高溫度：1400℃

9、長時間使用溫度：≤1300℃

10、控溫精度：±1℃

11、建議升溫速率：≤10℃/min

12、熱電偶型號：S型

13、金屬密封法蘭：磁流體密封法蘭

14、控制器：可編程控溫儀表，PID調(diào)節(jié)，升、降保溫全自動

15、控溫方式：人機(jī)界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控，采用模糊型PID控制。

16、無紙記錄：內(nèi)置存儲記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)。

17、設(shè)備功率：10KW

18、設(shè)備工作電源：AC220V(L+N+PE)2P 63A空開 3x6mm2

四3路供氣系統(tǒng)參數(shù)：

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。

流量計類型：浮子流量計（3個），量程可選

最大壓力：3MPa

接口：Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥：Φ6卡套接頭

五真空系統(tǒng)參數(shù)：

真空系統(tǒng)內(nèi)部安裝機(jī)械泵1臺，電阻真空計1套，并含有配套使用的波紋管，手動擋板閥，卡箍等連接部件。

1、技術(shù)參數(shù)：

空氣相對濕度：≤85%

工作電電壓：220V±10% 50~60HZ

功率：1千瓦

抽氣速率：10m3/h

實(shí)驗(yàn)真空度：5.0X10-1Pa

容油量：1.1L

進(jìn)氣口口徑：KF25

排氣口口徑：KF25

轉(zhuǎn)速：1450rpm

噪音：50dB

2、真空計參數(shù)：

配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)

測量范圍：10 5 ～10 -1 Pa

測量路數(shù)：1路

控制范圍：5×10 3 ～5×10 -1 Pa

控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載

電源：90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗：20W