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大昌華嘉科學(xué)儀器部
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Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測量儀主機(jī)，可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。
晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關(guān)重要，這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度，研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用，*終提高電子設(shè)備的性能和可靠性。
應(yīng)用
? 研究表面清潔度
接觸角測量可以評估晶圓的清潔度，從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況。
? 確定表面自由能
通過測量接觸角，可以推斷出表面自由能，這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。
? 了解粘附性能
接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。
? 研究親水性/疏水性
測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水，從而影響光刻和蝕刻等工藝。
? 用于質(zhì)量控制
定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分，以確保晶圓加工和處理的一致性。
支持晶圓接觸角測量的軟件功能
? 批量模式，用于對一排多個晶圓進(jìn)行快速測量。
? 標(biāo)準(zhǔn)座滴法，可進(jìn)行更深入的分析。
晶圓自動旋轉(zhuǎn)臺
Theta系列晶圓樣品臺是一種由軟件控制的電動平臺，用于旋轉(zhuǎn)晶圓，以實現(xiàn)直徑高達(dá)12英寸晶圓的接觸角自動定位測量。
Theta系列晶圓樣品臺包括旋轉(zhuǎn)臺（T340R）和晶圓臺面（T340RW）。晶圓臺面的插銷有助于晶圓的高精度對準(zhǔn)和定位。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢?。為了進(jìn)一步固定晶圓，還可以通過內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵。
Theta系列晶圓樣品臺連接到自動XYZ樣品臺，可以自動定位直徑高達(dá)12英寸的晶圓。為了**限度地提高旋轉(zhuǎn)臺的性能，建議將其與四個可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用。這將允許自動進(jìn)行表面自由能測量，或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測量次數(shù)。
晶圓接觸角測量儀
| 測量參數(shù) | 表面張力，界面張力，接觸角，表面自由能 |
| 相機(jī)分辨率上限(像素) | 2592*2048(5 MP) |
| 拍照速度上限（FPS） | 3422 |
| 旋轉(zhuǎn)移動范圍 | 0-360° |
| **轉(zhuǎn)速 | 180°/s |
| 分辨率 | 0.005° |
| 精度 | ±0.1° |
樣品規(guī)格
| 適合的樣品尺寸 | 2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓 |
| **樣品重量 | 500g |
其他
| 真空泵連接 | 是 |
| 接觸角的自動定位 | 是 |
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企業(yè)名稱
大昌華嘉科學(xué)儀器部企業(yè)類型
有限責(zé)任公司(外國法人獨(dú)資)信用代碼
9131000060734095X4法人代表
林王珠注冊地址
中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)巴圣路275號40號樓第一層西部位成立日期
1996-01-11注冊資本
1,000萬(美元)有效期限
1996-01-11 至 2046-01-10經(jīng)營范圍
許可項目：食品銷售；酒類經(jīng)營；第三類醫(yī)療器械經(jīng)營；消毒器械銷售；獸藥經(jīng)營；道路貨物運(yùn)輸（不含危險貨物）；生活美容服務(wù)；理發(fā)服務(wù)；燃?xì)馊紵骶甙惭b、維修。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)）一般項目：企業(yè)總部管理；普通貨物倉儲服務(wù)（不含危險化學(xué)品等需許可審批的項目）；食品銷售（僅銷售預(yù)包裝食品）；食用農(nóng)產(chǎn)品批發(fā)；食用農(nóng)產(chǎn)品零售；勞動保護(hù)用品銷售；日用百貨銷售；化妝品批發(fā)；化妝品零售；美發(fā)飾品銷售；個人衛(wèi)生用品銷售；廚具衛(wèi)具及日用雜品批發(fā)；廚具衛(wèi)具及日用雜品零售；服裝服飾批發(fā)；服裝服飾零售；服裝輔料銷售；針紡織品及原料銷售；文具用品批發(fā)；文具用品零售；第一類醫(yī)療器械銷售；第二類醫(yī)療器械銷售；化工產(chǎn)品銷售（不含許可類化工產(chǎn)品）；消毒劑銷售（不含危險化學(xué)品）；皮革制品銷售；鐘表銷售；珠寶首飾批發(fā)；珠寶首飾零售；工藝美術(shù)品及禮儀用品銷售（象牙及其制品除外）；食品添加劑銷售；金屬材料銷售；金屬工具銷售；儀器儀表銷售；音響設(shè)備銷售；畜牧漁業(yè)飼料銷售；飼料添加劑銷售；塑料制品銷售；商業(yè)、飲食、服務(wù)專用設(shè)備銷售；衛(wèi)生用品和一次性使用醫(yī)療用品銷售；特種勞動防護(hù)用品銷售；專用化學(xué)產(chǎn)品銷售（不含危險化學(xué)品）；日用化學(xué)產(chǎn)品銷售；辦公用品銷售；家用電器銷售；飼料原料銷售；寵物食品及用品批發(fā)；電熱食品加工設(shè)備銷售；機(jī)械設(shè)備銷售；五金產(chǎn)品批發(fā)；五金產(chǎn)品零售；電子測量儀器銷售；電子產(chǎn)品銷售；電氣設(shè)備銷售；互聯(lián)網(wǎng)銷售（除銷售需要許可的商品）；貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出口；進(jìn)出口代理；國內(nèi)貿(mào)易代理；離岸貿(mào)易經(jīng)營；銷售代理；貿(mào)易經(jīng)紀(jì)；會議及展覽服務(wù)；包裝服務(wù)；機(jī)械設(shè)備租賃；充電控制設(shè)備租賃；日用產(chǎn)品修理；儀器儀表修理；家用電器安裝服務(wù)；專業(yè)保潔、清洗、消毒服務(wù)；信息咨詢服務(wù)（不含許可類信息咨詢服務(wù)）；企業(yè)管理；品牌管理；醫(yī)學(xué)研究和試驗發(fā)展（除人體干細(xì)胞、基因診斷與治療技術(shù)開發(fā)和應(yīng)用）；健康咨詢服務(wù)（不含診療服務(wù)）；物業(yè)管理；國內(nèi)貨物運(yùn)輸代理；技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣。（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）
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