中國粉體網(wǎng)訊 近日，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，昂士特科技（深圳）有限公司（以下簡稱“昂士特”）取得一項名為“一種用于金屬合金的化學機械拋光組合物及其拋光方法”的專利，無腐蝕拋光設備中的金屬部件的風險。
來源：國家知識產(chǎn)權(quán)局
化學機械拋光技術(shù)是目前應用最廣且能夠?qū)崿F(xiàn)全局和局部平坦化的技術(shù)。該技術(shù)綜合了拋光液的化學腐蝕作用和磨粒及拋光墊的機械去除作用，以實現(xiàn)拋光后工件表面的良好質(zhì)量、無損傷和高面形精度。
在拋光過程中，拋光液中的化學添加劑和材料表面發(fā)生反應，會在被拋材料表面形成一層很薄、結(jié)合力較弱的“軟化層”，之后磨粒在壓力和摩擦作用下對材料表面進行細微無損地去除。
但一些應用廣泛的金屬合金耐腐蝕性差，嚴重制約其推廣，比如鎂合金。鎂合金作為迄今為止發(fā)現(xiàn)的最輕的金屬合金之一，具有低密度、高比剛度和強度，以及優(yōu)異的電磁屏蔽性能，在航空航天、交通運輸和 3C 產(chǎn)品領域具有廣泛的應用，但因其耐腐蝕性差，影響其發(fā)展。
昂士特本次發(fā)明“一種用于金屬合金的化學機械拋光組合物及拋光方法”。該組合物包含氧化鋁磨粒、氧化劑、分散劑、pH調(diào)節(jié)劑，其中，所述分散劑為納米粘土，所述納米粘土具有至多1000nm的z平均粒徑。該組合物能用于金屬合金基材平面的拋光，其具有接近中性的pH值，無腐蝕拋光設備中的金屬部件的風險。
昂士特成立于2019年初，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高新技術(shù)企業(yè)，致力于開發(fā)集成電路關(guān)鍵緊缺新型材料。公司秉承“鍥而不舍、奉獻擔當”的價值理念，堅持“自主研發(fā)、規(guī)模生產(chǎn)”的目標宗旨，力求為全球客戶提供最優(yōu)質(zhì)的拋光液以及最佳的表面技術(shù)解決方案。昂士特總部及研發(fā)中心位于粵港澳大灣區(qū)核心城市——深圳市，華東生產(chǎn)基地與先進技術(shù)研究院位于半導體產(chǎn)業(yè)新興基地——合肥市。公司核心團隊具有多年的高科技研發(fā)及客戶服務經(jīng)驗，具備扎實的技術(shù)背景和先進的管理理念。
參考來源：
[1]國家知識產(chǎn)權(quán)局、昂士特官網(wǎng)
[2]許寧等，CeO2基磨粒在化學機械拋光中的研究進展
[3]趙仕程，鎂合金的化學機械拋光液研究
[4]李雯浩等，IC互連金屬及其阻擋層化學機械拋光的研究進展
[5]孫興漢等，碳化硅化學機械拋光中材料去除非均勻性研究進展
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）
注：圖片非商業(yè)用途，存在侵權(quán)告知刪除！
