中國粉體網訊 3月18日,作為遼寧省2024年一季度重點項目集中開工動員會主會場,沈陽漢京半導體產業(yè)基地項目發(fā)布開工令,集中開工建設。
來源:沈陽日報
漢京半導體項目由遼寧漢京半導體材料有限公司投資建設,項目總投資10億元,占地面積9.6萬平方米,規(guī)劃建筑面積12萬平方米,提供直接就業(yè)崗位1000個以上。 項目規(guī)劃建設石英工廠、陶瓷工廠和高精尖研發(fā)中心等,主要生產集成電路產業(yè)專用材料,利用碳化硅新型材料制造半導體行業(yè)所使用的立式舟、石英管等產品。
項目建設后將吸引集成電路產業(yè)鏈上下游企業(yè)加速聚集,加快形成新質生產力,推動遼寧省成為半導體設備重要材料供應基地。有助于企業(yè)進一步穩(wěn)固國內半導體石英制成品市場龍頭地位,在半導體陶瓷材料領域填補國內行業(yè)空白,建成國內首家可以穩(wěn)定供貨的碳化硅工廠。
作為半導體生產設備的關鍵部件,精密陶瓷部件的研發(fā)生產直接影響著半導體裝備制造業(yè)乃至整個半導體產業(yè)鏈的發(fā)展。與其它陶瓷材料相比,碳化硅陶瓷具有低密度、高強度、高硬度、高彈性模量、高比剛度、高耐磨的特點,同時它的導熱系數(shù)比較高、熱變性系數(shù)較低,隨溫度變化不易出現(xiàn)變形情況,這也是碳化硅材料在半導體裝備中被大量應用的主要原因。
遼寧漢京半導體材料有限公司成立于2022年6月,是一家專業(yè)從事SiC燒結、CVD涂層、精加工生產、檢驗、銷售為一體的高精端企業(yè)。漢京半導體技術人員憑借在半導體領域多年的深耕經歷與經驗和國際領先的技術工藝及生產設備,率先成為國內首家碳化硅耗材生產商。目前漢京半導體已初步建成了以SiC Tube、SiC Boat、SiC Cap、SiC Fin、SiC Ring為主體的產品線,下一步將繼續(xù)加大研發(fā)力度,滿足半導體行業(yè)需求。
來源:中國新聞網、沈陽發(fā)布
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