中國粉體網(wǎng)訊  近日，由第三代產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟成員單位賽邁科先進(jìn)材料股份有限公司牽頭，聯(lián)合北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、湖南三安半導(dǎo)體有限公司、山東大學(xué)、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所聯(lián)合提出的《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)提案，經(jīng)CASAS管理委員會(huì)投票獲得通過，2024年3月4日正式立項(xiàng)，并分配標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：T/CASAS 048。

T/CASAS 048—20XX《碳化硅單晶生長用等靜壓石墨》描述了碳化硅單晶生長用等靜壓石墨的術(shù)語和定義、材料規(guī)格說明、基本要求、技術(shù)要求、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)識(shí)、包裝、運(yùn)輸和貯存。適用于純度達(dá)到5N5（99.9995wt%）以上的碳化硅單晶生長用等靜壓石墨。

在碳化硅半導(dǎo)體領(lǐng)域，等靜壓石墨是PVT法生長單晶的重要耗材，占據(jù)生產(chǎn)物料成本的約30%，用以制造單晶生長用的熱場部件（包括坩堝及內(nèi)部構(gòu)件、電阻加熱器等）；同時(shí)，等靜壓石墨的使用表現(xiàn)，也極大的影響晶體質(zhì)量，質(zhì)量良好的等靜壓石墨熱場能提升晶體生長良率。由于工況中有極高的運(yùn)行溫度、復(fù)雜的腐蝕情況、嚴(yán)苛的潔凈度要求，因此，用戶對(duì)該領(lǐng)域用的等靜壓石墨具有更加高的使用要求和質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，這體現(xiàn)在純度、強(qiáng)度、抗腐蝕性、均勻性等多個(gè)方面。當(dāng)前，我國石墨產(chǎn)業(yè)發(fā)展蓬勃，但存在“高端產(chǎn)能不足、中低端產(chǎn)能過�！钡膯栴}。希望以此標(biāo)準(zhǔn)的制定，銜接產(chǎn)業(yè)鏈上中下游，共同探討產(chǎn)品需求的更多共識(shí)，促進(jìn)我國石墨產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)型升級(jí)、提質(zhì)增效、創(chuàng)新發(fā)展。

秘書處將向CASAS正式成員發(fā)出征集起草單位的通知，組建標(biāo)準(zhǔn)起草小組，請CASAS正式成員關(guān)注秘書處郵件（casas@casa-china.cn）。

牽頭單位介紹

賽邁科先進(jìn)材料股份有限公司成立于2007年，是中國領(lǐng)先的大規(guī)模、高品質(zhì)特種石墨材料研發(fā)生產(chǎn)的高科技企業(yè)，公司現(xiàn)有兩大生產(chǎn)基地，分別位于浙江湖州和寧夏銀川，總占地面積約1000畝。公司具備綠色環(huán)保的先進(jìn)生產(chǎn)工藝，其石墨材料和碳材料產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于清潔能源、可再生能源、半導(dǎo)體、工業(yè)爐、精密模具等行業(yè)領(lǐng)域，公司提供基千石墨和碳材料的增值服務(wù)和產(chǎn)品，包括精密加工、材料純化、表面處理、檢驗(yàn)檢測等。

公司始終把自主科研創(chuàng)新能力作為企業(yè)核心競爭力，是國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)、國家專精特新“小巨人”企業(yè)，公司的實(shí)驗(yàn)室已取得國家認(rèn)可委(CNAS)認(rèn)證，具備對(duì)公眾和社會(huì)服務(wù)能力，同時(shí)也是中國石墨行業(yè)唯一加入美國材料與試驗(yàn)協(xié)會(huì)(ASTM)，成為組織成員單位的企業(yè)；至2023年為止，公司已參與編制國家標(biāo)準(zhǔn)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、ASTM標(biāo)準(zhǔn)等共計(jì)19項(xiàng)；公司已與中國工程院、中國科學(xué)院著名院士共同建立院士專家工作站，并建立了國家級(jí)博士后工作站、省級(jí)重點(diǎn)企業(yè)研究院等創(chuàng)新平臺(tái)；公司與全球范圍領(lǐng)先的研究機(jī)構(gòu)和高校開展合作，包括中科院、清華大學(xué)、牛津大學(xué)等，為全球各行業(yè)用戶提供更有創(chuàng)新性的產(chǎn)品和服務(wù)。

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）

注：圖片非商業(yè)用途，存在侵權(quán)告知?jiǎng)h除