中國粉體網(wǎng)訊 靜電卡盤又名靜電吸盤，廣泛應用于集成電路制造工藝中，特別是刻蝕、PVD、CVD等核心工藝中。目前普遍的靜電吸盤技術主要是以氧化鋁陶瓷或氮化鋁陶瓷作為主體材料。陶瓷材料具有良好的導熱性，耐磨性及高硬度且對比金屬材料在電絕緣方面有著先天的優(yōu)勢。
靜電吸盤行業(yè)的發(fā)展與半導體設備配套需求密切相關。近年來，隨著國家加大半導體領域的投入，我國半導體設備采購額逐年增加，推動了包括靜電吸盤在內的核心部件的采購量增長。然而，我國國產設備及靜電吸盤等核心部件的國產化率仍較低，較強的替代需求為中國靜電吸盤廠商的發(fā)展壯大創(chuàng)造了機遇。
目前國內半導體靜電吸盤實力企業(yè)如下（企業(yè)不分先后）：
廣東海拓創(chuàng)新精密設備科技有限公司
海拓創(chuàng)新是一家專注半導體及顯示行業(yè)關鍵零部件進行國產化的技術型公司，公司在國產化靜電卡盤及基于靜電卡盤為技術核心設備領域的設計、生產具有領先地位。目前海拓創(chuàng)新在靜電吸盤方面已經實現(xiàn)商業(yè)化生產，已經完成了4寸至12寸半導體FAB靜電卡盤交付實績，尤其是在第三代化合物半導體方面，已實現(xiàn)規(guī)�；桓�。
北京華卓精科科技股份有限公司
華卓精科成立于2012年，公司自主研發(fā)的靜電吸盤符合半導體行業(yè)相關標準和加工，前期所開發(fā)的12英寸PVD氮化鋁靜電吸盤，在一定程度上破除了國外廠商在該產品領域內的長期壟斷局面。目前華卓精科已將靜電吸盤相關技術應用于產品生產并形成了小批量量產，并可為客戶提供定制化的產品。
蘇州珂瑪材料科技股份有限公司
蘇州珂瑪成立于2009年，專業(yè)從事先進陶瓷材料零部件的研發(fā)、制造、銷售、服務以及泛半導體設備表面處理服務等。蘇州珂瑪重點投入研發(fā)陶瓷加熱器、靜電卡盤和超高純碳化硅套件，陶瓷加熱器、靜電卡盤已試產樣品，公司多個型號樣品處于客戶驗證階段。
浙江新納材料科技股份有限公司
新納材料成立于1994年，其研發(fā)的靜電吸盤產品，其性能指標已可滿足芯片制造企業(yè)需求，具有溫度可控、吸附力均勻、吸附無傷痕皺紋及無晶片邊緣排除效應等突出性能，已通過下游國內半導體行業(yè)龍頭企業(yè)長江存儲、士蘭微、北方華創(chuàng)等客戶認證并實現(xiàn)銷售，打破了國外廠商在該產品領域內的壟斷局面。同時其自主研發(fā)的半導體刻蝕設備用大尺寸氧化鋁陶瓷（靜電吸盤）被浙江省經濟和信息化廳認定為浙江省首臺（套）產品。
河北中瓷電子科技股份有限公司
中瓷電子成立于2006年，是專業(yè)從事電子陶瓷系列產品研發(fā)、生產和銷售的高新技術企業(yè)。2022年公司布局精密陶瓷零部件領域，實現(xiàn)加熱盤和靜電卡盤等技術難度高的精密零部件國產化，中瓷電子開發(fā)的陶瓷加熱盤產品核心技術指標已達到國際同類產品水平并通過用戶驗證，已批量應用于國產半導體關鍵設備中。陶瓷加熱盤已實現(xiàn)批量出貨，靜電卡盤已送樣測試。
君原電子科技（海寧）有限公司
君原電子成立于2020年，公司是由中國大陸、臺灣、韓國和日本等地的集成電路資深人士聯(lián)合創(chuàng)立的半導體材料和零部件生產企業(yè)，是目前國內第一家實現(xiàn)規(guī)�；a半導體靜電吸盤的公司。公司產品線實現(xiàn)對14nm（及以上）的主要刻蝕機臺靜電吸盤產品的全覆蓋，產品已經在國內12寸和8寸集成電路領域企業(yè)中會獲得應用。
瑞耕科技股份有限公司
瑞耕科技成立于1998年，是半導體業(yè)界的關鍵零組件、制程設備及靜電吸盤的領先供應商。瑞耘科技設計與制造的陶瓷靜電吸盤產品，可應用于真空系統(tǒng)中保持半導體和非導體(硅晶圓、玻璃)基板的吸附。2012年瑞耕科技成功開發(fā)出陶瓷靜電吸盤（ESC）；2014年陶瓷靜電吸盤產品及濕式晶圓蝕刻機(SAT)、濕式去光阻機(SST)量產建立。
中山市思考電子科技有限公司
思考電子2007年開始專注從事半導體晶圓劃片刀、微孔陶瓷真空吸盤、ESC靜電卡盤，CVD/PVD靜電卡盤，固晶機吸嘴（電木吸嘴、橡膠吸嘴、鎢鋼吸嘴）等半導體半導體耗材經驗。2012年開始自主研發(fā)氮化鋁加熱器、ESC靜電吸盤項目，2022年靜電卡盤事業(yè)部已掌握氮化鋁陶瓷高溫共燒技術，氮化鋁加熱器已面市，ESC靜電吸盤已進入裝配測試階段。目前氮化鋁靜電卡盤開始靜態(tài)裝備測試，預計2024年第一季度會做出成品。
來源：各企業(yè)官網(wǎng)、招股說明書
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青）
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