中國(guó)粉體網(wǎng)訊  近期，浙江奧博石英科技有限公司公布一項(xiàng)發(fā)明專利，專利名字為：一種半導(dǎo)體用高純石英制作工藝。

該工藝選擇1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸鹽離子液體，可以實(shí)現(xiàn)石英的低溫熔融，在較低的溫度下將二氧化硅粉末轉(zhuǎn)化為離子液體溶液，然后通過調(diào)控溫度和壓力，使溶液冷卻凝固，得到高純石英。節(jié)省能量的消耗，保護(hù)環(huán)境避免污染，提高了石英的純度，提升其性能和穩(wěn)定性，防止石英材料的形狀和尺寸發(fā)生變化，從原來的幾十個(gè)小時(shí)的生產(chǎn)時(shí)間降低至五個(gè)小時(shí)左右，大幅提升了高純石英的生產(chǎn)效率。

具體來說，這種制作工藝包括以下步驟：

S1、原料準(zhǔn)備：選用高純度的二氧化硅粉末作為原料，要求純度達(dá)到99.9%以上；

S2、進(jìn)料和分級(jí)：采用氣流分級(jí)法，將二氧化硅粉末按照粒徑進(jìn)行分級(jí)，將原料二氧化硅粉末通過進(jìn)料系統(tǒng)送入氣流分級(jí)器，氣流速度1030米/秒，在氣流的作用下，顆粒會(huì)按照粒徑的大小進(jìn)行分級(jí)。較大的顆粒會(huì)在上部分級(jí)出口排出，較小的顆粒會(huì)在下部分級(jí)出口排出；

S3、收集和再處理：分級(jí)出來的較大顆粒和較小顆粒需要分別進(jìn)行收集，較大顆�？梢酝ㄟ^再磨細(xì)的方法進(jìn)行再處理，以獲得更細(xì)的粉末，而較小顆�？梢酝ㄟ^進(jìn)一步的過濾，去除存在的雜質(zhì)；

S4、重復(fù)分級(jí)：可以將較小顆粒再次進(jìn)行氣流分級(jí)，以去除更小的顆粒和雜質(zhì)；

S5、離子混合物制作：在通過氣流分級(jí)的方法獲得更純凈的二氧化硅粉末中加入離子液體1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸鹽，形成二氧化硅離子液體混合物；

S6、混合攪拌：使用攪拌設(shè)備將二氧化硅粉末和離子液體充分混合；

S7、加熱：采用高壓熔融爐將二氧化硅離子液體混合物加熱至400-600℃，壓力參數(shù)為200-250兆帕，使離子液體和二氧化硅粉末發(fā)生反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)二氧化硅低溫熔化；

S8、冷卻：將熔融二氧化硅冷卻到-10℃至-20℃ ，冷卻過程中冷卻速率為50 -80℃/min，形成固態(tài)的高純石英坯體；

S9、精加工：高純石英坯體進(jìn)行精加工，包括切割、研磨、拋光等以獲得所需的形狀、尺寸和表面質(zhì)量。

S10、清洗和檢測(cè)：對(duì)精加工后的高純石英制品進(jìn)行清洗，以去除表面污染物，同時(shí)進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)，包括檢測(cè)雜質(zhì)含量光學(xué)性能、機(jī)械性能。

參考來源：國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局、浙江奧博石英科技有限公司官網(wǎng)

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/星耀）

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