中國粉體網(wǎng)訊  近日，露笑科技發(fā)布投資者關(guān)系活動記錄表，其中透露了合肥碳化硅項目新動態(tài)。 2020年8月8日、2020年9月15日，露笑科技分別與合肥市長豐縣人民政府、安徽長豐雙鳳經(jīng)濟開發(fā)區(qū)管理委員會簽署《合肥市長豐縣與露笑科技股份有限公司共同投資建設(shè)第三代功率半導(dǎo)體（碳化硅）產(chǎn)業(yè)園的戰(zhàn)略合作框架協(xié)議》和《長豐縣招商引資項目投資合作協(xié)議》。

 據(jù)悉，露笑科技將與合肥市長豐縣人民政府在合肥市長豐縣共同投資建設(shè)第三代功率半導(dǎo)體（碳化硅）產(chǎn)業(yè)園，包括但不限于碳化硅等第三代半導(dǎo)體的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目包括碳化硅晶體生長、襯底制作、外延生長等的研發(fā)生產(chǎn)，項目投資總規(guī)模預(yù)計100億元。

 露笑科技表示，2021年6月25日，露笑科技與合肥北城、長豐四面體、合肥長豐產(chǎn)業(yè)投促創(chuàng)業(yè)投資基金合伙企業(yè)（有限合伙）（合肥產(chǎn)投作為主導(dǎo)）四方簽訂了增資協(xié)議。目前碳化硅襯底片已送樣并檢測通過，合肥露笑的生產(chǎn)設(shè)備已進入安裝調(diào)試階段。

 露笑科技還表示，合肥投資的碳化硅工廠已全面掌握6英寸導(dǎo)電型碳化硅晶體生長工藝參數(shù)之間的各種耦合關(guān)系，確定了各工藝參數(shù)的優(yōu)值，中試線生長成品率達到40%，具備了可重復(fù)、可批量生長碳化硅晶體的設(shè)備以及技術(shù)條件。其中露笑科技提供100%國產(chǎn)化的晶體生長設(shè)備，目前已根據(jù)工藝的改進，對長晶爐進行了三代優(yōu)化，完成了設(shè)備定型。

這次合肥項目一期100臺設(shè)備已經(jīng)完成出廠調(diào)試，預(yù)計7月底在合肥工廠完成安裝調(diào)試。襯底片已通過多家第三方單位的測試，已達到了P 級標準。隨著襯底加工設(shè)備、清洗設(shè)備、測試設(shè)備等的逐步到位，以及加工工藝的進一步優(yōu)化，合肥工廠9月份可實現(xiàn)6英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底片的小批量試生產(chǎn)。

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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