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日本東洋鋁公司開發(fā)出新型氮化鋁粉末


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  日本東洋鋁公司成功地開發(fā)出一種新型的AlN粉末,它比原來的產(chǎn)品燒結(jié)性更好,成形體的熱傳導(dǎo)率等特性都有提高。最近在東京召開的“國際陶瓷綜合展會”上開始銷售這種新產(chǎn)品。在該公司的日野工廠(滋賀縣蒲生郡)年產(chǎn)40噸的設(shè)備已投產(chǎn),視需求情況也可在年內(nèi)增強生產(chǎn)能力,追趕世界居首位的德山公司。

  AlN的導(dǎo)熱度比氧化鋁高10倍,熱膨脹率近似半導(dǎo)體硅,由于它的這些特性,使它作為大功率晶體管、高密度IC的基板材料,從上世紀(jì)80年代中期就引人注目,可是因其成本和可靠性等問題,需求怎么也沒有增加。但最近不僅半導(dǎo)體基板而且在半導(dǎo)體制造裝置用零件等方面需求擴(kuò)大了。

  該公司的AlN粉是以本公司生產(chǎn)的高純度的噴霧AlN粉為原料用直接氮化法制造的。比氧化鋁的碳還原氮化法量產(chǎn)性好,但雜質(zhì)、粒度等質(zhì)量方面較差。為此,通過改進(jìn)方法,可以控制氧等雜質(zhì)和粒度。
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