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產品描述
HVA 真空閘閥,真空插板閥 21200 系列為百萬周期真空閘閥,專為高真空應用而設計,特別適合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤溫度不超過 150°C的應用.HVA 真空閘閥,真空插板閥 21200 系列內部沒有機械鎖,非常適合對于要求無振動運行的半導體和敏感工藝,所有活動關節(jié)的軸都經(jīng)過硬化處理,減少了顆粒物的產生并提供了更平穩(wěn)的驅動.
清潔和高密封性保證 HVA 真空閥門與低溫泵、渦輪分子泵,離子泵等**聯(lián)用上海伯東是美國 HVA 真空閥門在中國地區(qū)**指定總代理商.
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