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YSF24系列雙閥壓力控制器品牌
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該系列是一款專門應(yīng)用于密閉腔體或容器中的壓力測(cè)控產(chǎn)品，使用兩個(gè)比例閥門，通過(guò)將壓力傳感器與閥門和流道物理隔離，精確控制密閉腔體或容器的氣體的絕壓或表壓能有效減少由于持續(xù)排氣造成的昂貴氣體浪費(fèi)，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體等多種高端工藝制程。 控壓精度高，可達(dá)到±0.25% FS 快響應(yīng)，*快可達(dá)到 30ms 雙閥設(shè)計(jì)，避免持續(xù)排放昂貴氣體造成的浪費(fèi)靈活定制，多種通訊模式、機(jī)械接頭適用于半導(dǎo)體等多種高端工藝制程
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