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MOCVD bake 爐,烤盤爐,烘烤爐
MOCVD bake 爐,烤盤爐,烘烤爐

參考價格

90-100萬元

型號

VB-1600

品牌

產(chǎn)地

中國

樣本

暫無
寧波恒普技術(shù)股份有限公司

會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

留言詢價
核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    真空
  • 溫控精度:

    1℃
  • 最高溫度:

    1450
  • 額定溫度:

    1400
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產(chǎn)品概述

真空烤盤爐(Bake爐)是MOCVD(金屬有機化學氣相沉積)關(guān)鍵配合工藝裝備,專用于清除石墨載盤(碳化硅涂層)表面殘留的氮化鎵(GaN)、砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等化合物雜質(zhì)。通過高溫真空技術(shù),可實現(xiàn)載盤表面污染物的高效分解與蒸發(fā),恢復石墨載盤的潔凈度,延長使用壽命,降低LED、射頻芯片、激光器等半導體制造企業(yè)的耗材成本。

 

核心功能與技術(shù)優(yōu)勢

高產(chǎn)能

¨ 有效工作區(qū)域達到710X710X1600mm,適用于

MOCVD各種石墨盤的清理。

¨ 采用高強度石墨板,可承載更多產(chǎn)品。

¨ 降低單位產(chǎn)品的能源消耗。

溫度、氣流均勻

¨ 獨特的上下兩區(qū)控溫設(shè)計,整爐溫度均一

性達到 ≤±3℃。

¨ 優(yōu)化設(shè)計的進氣系統(tǒng),保證氣流流動更均

勻。

¨ 均勻的熱場和氣流同時協(xié)作,保證石墨盤

清理更均勻,干凈。

高配置

¨ 采用日本原裝進口石墨硬氈,揮發(fā)物更少,

烘烤氣氛更純凈。

¨ 美國熱電偶,日本質(zhì)量流量計,真空計等。

¨ 全面革新的溫控系統(tǒng),人機界面。

 

核心應用場景

LED芯片制造

· GaN基LED外延片:藍光/白光LED生產(chǎn)后石墨托盤去污;

· Micro-LED產(chǎn)線:高精度載盤維護,保障微米級外延均勻性。

化合物半導體制造

· 射頻器件(GaAs):5G基站放大器、毫米波芯片載盤再生;

· 光通信激光器(InP):DFB/EML激光器外延托盤清洗。

研發(fā)與代工服務

· 半導體研究院所、晶圓代工廠的MOCVD設(shè)備配套維護;

· 第三代半導體(SiC、GaN)功率器件產(chǎn)線耗材管理。

真空烤盤爐

VB-1600

工作尺寸   mm

710*710*1600

**溫度   ℃

1450

使用溫度   ℃

1400

溫度分布   ℃

幅值≤6(±3)

極限真空   Pa

1

電源容量   KVA

170

使用氣體

N2,N2/H2 Mix

設(shè)備尺寸    mm3

3517X3300X2400

 聯(lián)系方式:鄒先生,13567******


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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