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全自動(dòng)12寸晶圓拋光機(jī)品牌
江蘇元夫產(chǎn)地
江蘇樣本
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全自動(dòng)12寸晶圓拋光機(jī)
為應(yīng)對(duì)當(dāng)前高端集成電路制造國產(chǎn)化趨勢(shì)，研發(fā)出12吋全自動(dòng)高產(chǎn)能CMP(化學(xué)機(jī)械研磨)設(shè)備，滿足客戶多種工藝應(yīng)用場景需求、提供整體解決方案，**化地降低客戶設(shè)備運(yùn)維成本、提高單位面積/單位時(shí)間的產(chǎn)出率。
設(shè)備特點(diǎn)
多線程跑貨，高WPH
模塊化布局，分區(qū)維護(hù)
自主研發(fā)多分區(qū)研磨頭
干進(jìn)干出，馬蘭戈尼提拉干燥
搭配在線量測IM，實(shí)現(xiàn)APC
高速響應(yīng)、高精度Endpoint技術(shù)
用于Oxide/Si/STI/W/Cu/Poly等CMP制程
可支持天車系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)派工
適配全工業(yè)化生產(chǎn)系統(tǒng)MES/RMS/FDC/PMS等
具備自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)創(chuàng)新技術(shù)
標(biāo)準(zhǔn)機(jī)臺(tái)尺寸：長5.7m*寬2.8m*高2.7m
暫無數(shù)據(jù)！
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