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碳化硅晶圓減薄砂輪
碳化硅晶圓減薄砂輪

參考價格

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型號

碳化硅晶圓減薄砂輪

品牌

中微力合

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
東莞市中微力合半導(dǎo)體科技有限公司

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第1年

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生產(chǎn)商

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產(chǎn)品簡述

  • 我公司生產(chǎn)的減薄砂輪可替代進(jìn)口產(chǎn)品,在國內(nèi)外磨床上穩(wěn)定使用,砂輪磨削性能優(yōu)越。

  • 指標(biāo):規(guī)格

  • 輪體尺寸:OD(200/250/300mm)

  • 粘合劑:陶瓷

  • 型號目數(shù):2000#/8000#/30000#

  • 磨損比: 0.1 /0.5 /0.8

  • 加工表面粗糙度:<15nm /<3nm /<0.8nm

  • 齒表面形貌:25x3.5x6mm(長方體狀)

產(chǎn)品概述

我公司生產(chǎn)的碳化硅晶圓減薄砂輪可替代進(jìn)口產(chǎn)品,在國內(nèi)外磨床上穩(wěn)定使用,砂輪磨削性能優(yōu)越。

應(yīng)用領(lǐng)域

加工對象:碳化硅襯底、外延、封裝前背減
通過各種結(jié)合劑與不同顆粒大小的組合,實現(xiàn)晶圓超薄磨削加工的穩(wěn)定性。
在工藝上滿足同等原設(shè)備加工效率以及同樣產(chǎn)品質(zhì)量情況下壽命與進(jìn)口產(chǎn)品相當(dāng)。

產(chǎn)品特點

粗研削加工:
加工時,穩(wěn)定性好,電流低,砂輪損耗小。磨出產(chǎn)品紋理均勻,Ra小于15nm;

精研削加工:
通過特殊的陶瓷結(jié)合劑及先進(jìn)的制造工藝研發(fā)的砂輪塊,磨削一致性好。在產(chǎn)品磨削到鏡面后,仍能持續(xù)穩(wěn)定地繼續(xù)磨削,Ra小于1nm.可以直接氧化硅精拋,省一道氧化鋁粗拋。

產(chǎn)品規(guī)格及驗證參數(shù)

品名匹配設(shè)備規(guī)格粒徑
碳化硅晶圓減薄砂輪Disco減薄機(jī)200x3Wx5T2000#/8000#/30000#
碳化硅晶圓減薄砂輪TSK減薄機(jī)250x3Wx7T2000#/8000#/30000#
碳化硅晶圓減薄砂輪Speedfam 減薄機(jī)250x4Wx7T2000#/8000#/30000#
碳化硅晶圓減薄砂輪國產(chǎn)某型號300x3Wx7T2000#/8000#/30000#
數(shù)據(jù)源于中微實驗室


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