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PVT碳化硅長晶爐品牌
產(chǎn)地
上海樣本
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采用感應加熱方式，在石英管/不銹鋼腔體內(nèi)以物理氣相傳輸法（PVT）生長高純SiC晶體。
性能優(yōu)勢
下進料方式，利于實現(xiàn)工廠自動化。
熱場旋轉，升降式線圈，用于調(diào)整溫度場。
自主研發(fā)異地網(wǎng)絡遠程監(jiān)控操作系統(tǒng)，實現(xiàn)長晶過程的全自動控制；
分級權限，便于工藝參數(shù)管理；
遠程 控制，實現(xiàn)無人值守。
溫度、壓力控制的穩(wěn)定性；重復定位的準確性；快速抽空及長時間真空保壓。
布局緊湊合理，整機呈框架式結構，將電控箱、加熱電源巧妙集成于一體。
電動升降上下料，托盤降至*低位置后可水平移出，電動升降爐蓋，省時省力，安全可靠。
配置兩路真空系統(tǒng)，高精度用于晶體生長的壓力控制，普通精度用于抽真空。
暫無數(shù)據(jù)！
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