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半導體級測溫儀
半導體級測溫儀

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EXACTUS?光學高溫計主要設計用于OEM晶圓溫度測量應用,在非接觸式溫度測量方面具有顯著的性能優(yōu)勢。許多正在申請的**涵蓋了這些突破,這些突破在準確性、可重復性和穩(wěn)定性方面具有行業(yè)**的性能。我們的性能優(yōu)勢使我們能夠成功地測量許多應用中的過程


EXACTUS?光學高溫計主要設計用于OEM晶圓溫度測量應用,在非接觸式溫度測量方面具有顯著的性能優(yōu)勢。許多正在申請的**涵蓋了這些突破,這些突破在準確性、可重復性和穩(wěn)定性方面具有行業(yè)**的性能。我們的性能優(yōu)勢使我們能夠成功地測量許多應用中的過程

EXACTUS?提供:

  • 使用短波長進行低溫測量(25°C 或更高)

  • 使用 200nm 紅外輻射測量低至 900°C 的單晶硅

  • 精度高,分辨率高達0.001°C,精度高達1.5°C

  • 速度高達每秒 1,000 個讀數(shù)

  • 在任何給定波長下具有寬動態(tài)范圍

  • 測溫重復性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC 

  • 精密度高, 分辨率達 0.01 oC , 測溫精度1.5 oC

    • 典型應用

      • 硅晶生長

      • 薄膜沉積

      • 激光/感應焊接

      • 玻璃加工

      工業(yè)加熱
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