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臥式LPCVD低壓氣相沉積爐
臥式LPCVD低壓氣相沉積爐

參考價格

面議

型號

臥式LPCVD低壓氣相沉積爐

品牌

育豪微電子

產(chǎn)地

山東

樣本

暫無
青島育豪微電子設(shè)備有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

留言詢價
核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    -
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一.設(shè)備概述:

LPCVD低壓化學氣相淀積設(shè)備是半導體集成電路制造的重要工序之一,本設(shè)備主要用于:4-8英寸硅片SiO2-LTO TEOS、SIPOS-含氧多晶硅、SI3N4-氮化硅、BPSG-磷硅玻璃、POLY-多晶硅、TEOS-氧化硅薄膜的生長。它是將原材料氣體(或者液態(tài)源氣化)用熱能激活發(fā)生化學反應(yīng)而在基片表面生成固體薄膜。低壓化學氣相淀積是在低壓下進行的,由于氣壓低,氣體分子平均自由程大,使生長的薄膜均勻性好,而且基片可以豎放而裝片量大,特別適用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業(yè)的工業(yè)化生產(chǎn)專用設(shè)備,采用電腦工控機軟件控制方式,是其性能技術(shù)指標已經(jīng)達到國際先進技術(shù)水平。


二.設(shè)備類型參數(shù):

設(shè)備性能指標

1

操作方式

根據(jù)客戶操作可定左/右手操作

2

管路數(shù)

1-5管

3

加工晶圓尺寸

4-8寸

4

適用工藝

SiO2-LTO TEOS、SIPOS-含氧多晶硅、SI3N4-氮化硅、BPSG-磷硅玻璃、POLY-多晶硅、TEOS-氧化硅

5

淀積薄膜均勻性

IW≤2%,W2W≤3%,R2R/D2D≤3%

6

溫度校準功能

具有自動校準溫區(qū)功能,具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能

7

控溫模式

Spike控溫+Profile串級控溫

8

控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

一體工控機+PLC

9

系統(tǒng)極限真空度:

10 mTorr 

10

工作壓力范圍:

10 mTorr~500mTorr可調(diào)

11

報警保護:

具有超溫報警,斷偶報警,氣體互鎖,氣體緩啟動等功能


三、設(shè)備主要特點和優(yōu)勢

1★具有強大的操作功能,windows界面,顯示屏操作,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時顯示各種工藝狀態(tài);配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時間;

2★采用高可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門等進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化;

3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫,節(jié)省工藝時間;

4★具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇;

5★冷端采用PT100檢測環(huán)境溫度進行溫度補償,避免環(huán)境溫度變化,對爐膛溫度產(chǎn)生影響,避免層間干擾;

6★推拉舟裝載采用SIC懸臂漿,避免與工藝管摩擦產(chǎn)生粉塵,推拉舟運行完一個周期,自動校準位置,有效防止定位偏差; 

7★氣體流量采用數(shù)字化精確控制,采用模擬信號閉環(huán)控制,強弱電分開,各種數(shù)據(jù)交互采用標準總線,提高抗干擾能力,保證數(shù)據(jù)安全;氣體打開具有緩啟動功能;

8★具有多種報警功能及安全保護功能;
9★恒溫區(qū)自動調(diào)整,串級控制,可準確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度;

三、設(shè)備主要特點和優(yōu)勢

1★具有強大的操作功能,windows界面,顯示屏操作,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時顯示各種工藝狀態(tài);配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時間;

2★采用高可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門等進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化;

3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作,在停電或中途停機后,再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫,節(jié)省工藝時間;

4★具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇;

5★冷端采用PT100檢測環(huán)境溫度進行溫度補償,避免環(huán)境溫度變化,對爐膛溫度產(chǎn)生影響,避免層間干擾;

6★推拉舟裝載采用SIC懸臂漿,避免與工藝管摩擦產(chǎn)生粉塵,推拉舟運行完一個周期,自動校準位置,有效防止定位偏差; 

7★氣體流量采用數(shù)字化精確控制,采用模擬信號閉環(huán)控制,強弱電分開,各種數(shù)據(jù)交互采用標準總線,提高抗干擾能力,保證數(shù)據(jù)安全;氣體打開具有緩啟動功能;

8★具有多種報警功能及安全保護功能;
9★恒溫區(qū)自動調(diào)整,串級控制,可準確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度;


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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