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由東海自主研發(fā)的TaC材料及涂層技術(shù)，可應(yīng)用于SiC外延用涂層盤(pán)、UVLED外延用涂層盤(pán)、SiC單晶生長(zhǎng)部件，我們的TaC涂層解決工藝有以下幾大優(yōu)勢(shì)：
1、出色的抗熱沖擊阻力
2、出色的抗物理沖擊阻力
3、在高溫下，出色的耐化學(xué)性（≤2500℃）
4、超高純度
5、可加工成各種復(fù)雜的形狀
6、Ta元素和C元素比例為1:1
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