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PECVD石墨舟品牌
鉅盛石墨產(chǎn)地
廣東樣本
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采用當(dāng)下*有優(yōu)勢的高精密加工設(shè)備，配備專業(yè)工藝人員，保障使用中硅片表面不產(chǎn)生“彩片”
| 密度 | 1.82g/cm3 | 灰分 | 50ppm |
| 抗折強(qiáng)度 | 51Mpa | 抗壓強(qiáng)度 | 115Mpa |
| 顆粒度 | 0.01mm | 電阻率 | 12μΩ.m |
| 肖氏硬度 | 65HSD | 熱膨脹系數(shù)（室溫-600℃） | 5.8x10-6/℃ |
| 彈性模量 | 12Gpa | 氣孔率 | 12% |
| 進(jìn)口提純石墨參數(shù) | |||
| 密度 | 1.82g/cm3 | 灰分 | 50ppm |
| 抗折強(qiáng)度 | 58Mpa | 電阻率 | 14μΩ.m |
應(yīng)用場景：單晶硅片沉積鍍膜
優(yōu)點(diǎn)
1.采用當(dāng)下*有優(yōu)勢的高精密加工設(shè)備，配備專業(yè)工藝人員，保障使用中硅片表面不產(chǎn)生“彩片”。
2.采用提純等靜壓石墨材料制作，雜質(zhì)含量低，強(qiáng)度高。
3.陶瓷組裝件采用99.9陶瓷，防腐蝕性能強(qiáng)，不易爆裂。
4.執(zhí)行嚴(yán)格的全工序品質(zhì)控制，保證每個配件的精度。
5.能完全匹配主流設(shè)備廠商的沉積爐型。
| 國產(chǎn)提純石墨參數(shù) | |||
| 密度 | 1.82g/cm3 | 灰分 | 50ppm |
| 抗折強(qiáng)度 | 51Mpa | 抗壓強(qiáng)度 | 115Mpa |
| 顆粒度 | 0.01mm | 電阻率 | 12μΩ.m |
| 肖氏硬度 | 65HSD | 熱膨脹系數(shù)（室溫-600℃） | 5.8x10-6/℃ |
| 彈性模量 | 12Gpa | 氣孔率 | 12% |
| 進(jìn)口提純石墨參數(shù) | |||
| 密度 | 1.82g/cm3 | 灰分 | 50ppm |
| 抗折強(qiáng)度 | 58Mpa | 電阻率 | 14μΩ.m |
| 顆粒度 | 0.01mm | 氣孔率 | 8% |
| 肖氏硬度 | 65HSD | ||
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