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ASPIPER 3000 非線性光學(xué)晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
ASPIPER 3000 非線性光學(xué)晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

ASPIPER 3000 非線性光學(xué)晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

品牌

微崇半導(dǎo)體

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無
微崇半導(dǎo)體(北京)有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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ASPIPER 3000

非線性光學(xué)晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

ASPIRER 3000非線性光學(xué)晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)可以提供晶圓級(jí)別的缺陷檢測(cè),對(duì)界面及膜層質(zhì)量進(jìn)行綜合測(cè)試分析,提升各類制程的良率。獨(dú)有的非線性光學(xué)技術(shù)配合自主研發(fā)的檢測(cè)系統(tǒng)可提供超高的檢測(cè)靈敏度,并對(duì)有、無圖案晶圓均有良好的適用性。ASPIRER 3000機(jī)臺(tái)可滿足客戶在研發(fā)和量產(chǎn)中對(duì)晶圓質(zhì)量的快速、無損、精準(zhǔn)檢測(cè)需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

非接觸、無損傷

快速檢測(cè)

在線檢測(cè)

軟件操作便捷

Wafer Map等多樣化表征手段

主要應(yīng)用

各類成膜工藝質(zhì)量的監(jiān)控

各類生產(chǎn)工藝機(jī)臺(tái)穩(wěn)定性的監(jiān)控

刻蝕等工藝對(duì)晶圓損傷的檢測(cè)與監(jiān)控

離子注入及退火工藝的質(zhì)量監(jiān)控

清洗等工藝質(zhì)量的監(jiān)控


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