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擴(kuò)散爐
擴(kuò)散爐

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

擴(kuò)散爐

品牌

賽瑞達(dá)

產(chǎn)地

江蘇

樣本

暫無
賽瑞達(dá)智能電子裝備(無錫)有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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核心參數(shù)
  • 額定溫度:

    400℃~1286℃
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
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擴(kuò)散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造等領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝,可用于4-8英寸工藝尺寸。

控制系統(tǒng)特點(diǎn)

◎ 工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能

◎ 可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能

◎ 系統(tǒng)故障自診功能

◎ 停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能等等

◎ 具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng),良好的人機(jī)界面

◎ 具有多點(diǎn)溫度補(bǔ)償

◎ 具有多種故障報(bào)警及各種安全互鎖保護(hù)功能

★支持SECS/GEM通訊

★該系統(tǒng)可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應(yīng)的功能

主要技術(shù)指標(biāo)

◎ 晶圓尺寸:4~8英寸

◎ 工藝管數(shù):1~4管/臺(tái)

◎ 工作溫度范圍:400℃~1286℃

◎ 恒溫區(qū)長度:300~1500mm

◎ 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性:+0.5℃/24h

◎ **可控升溫速度:15℃/min

◎ **降溫速度:5℃/min

★可為用戶量身定制非標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論!
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