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對SIC晶體、襯底片進(jìn)行檢測，對襯底片進(jìn)行表面處理、清洗和封裝，對碳化硅晶片進(jìn)行表面處理、清洗、封裝等工藝技術(shù)，使產(chǎn)品達(dá)到開盒即用
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