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VIC-D210氣體流量控制器/流量計品牌
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| 型號 | **滿量程（N2標準） | *小滿量程（N2標準） |
|---|---|---|
| VIC-D210 | 1.5SLM | 5SCCM |
| VIC-D220 | 50 SLM | 1.5 SLM |
| VIC-D230 | 100 SLM | 50 SLM |
| VIC-D240 | 200 SLM | 100 SLM |
| VIC-D245 | 400 SLM | 200 SLM |
| 流量精度 | ≤ ±1% F.S |
| 重復性 | ±0.2% F.S |
| 控制范圍 | 2%~100% F.S |
| 響應時間 | ≤ 1.0 sec (10 ~ 100%) |
| 工作溫度 | 0~50 ℃ |
| 線性 | 滿量程的≤ ± 0.2% |
| 預熱時間 | 15分鐘 (準確度保證：30分鐘) |
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