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BF33玻璃是一種高品質(zhì)的硼硅玻璃。具有合適的熱膨脹系數(shù)、出色的表面平整度、透明度等材料特性以及良好的光學(xué)性能，這些正符合高速激光解鍵合工藝的特殊要求。在晶圓減薄工藝中，BF33玻璃晶圓性能，可用于陽極鍵合或作為載體晶圓。中慧芯提供4英寸、6英寸等規(guī)格的BF33玻璃片：
| 英寸 | 直徑/mm | 拋面 | 厚度 | 備注 |
| 4寸 | 100±0.3 | 雙拋 | 500±10 | BF33玻璃片 |
| 6寸 | 150±0.3 | 雙拋 | 300，500 |
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