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金剛石晶圓片
由香港六晶科技有限公司自主研發(fā)的功率為40KW、915MHz的MPCVD設備可以每天平均100um的速率在金剛石籽晶上緩慢沉積，可制備直徑大于4英寸、厚度約為0.1-2毫米的金剛石晶圓片。
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