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9N系列純化器(0.1ppb)
9N系列純化器(0.1ppb)

參考價格

面議

型號

9N系列純化器(0.1ppb)

品牌

中鼎化學

產(chǎn)地

遼寧

樣本

暫無
大連中鼎化學有限公司

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應用領(lǐng)域:

適用于電子半導體、大規(guī)模集成電路、MAMS、單晶硅多晶硅及硅外延、LED、TFT、氮化鎵、碳化硅、科研開發(fā)、實驗分析等。


特點:

●  雙塔交替吸附再生,全自動連續(xù)運行

●  EP級316L拋光不銹鋼管件

●  配置0.003μm過濾器,去除率可達99.9999999%

●  西門子 PLC 可接入DCS系統(tǒng)

●  安全報警功能完善

●  可提供遠程云服務

●  超凈環(huán)境中生產(chǎn)組裝

●  氣體處理量10-20000Nm3/h




















9N超純氣體純化器



系列型號

適用氣體

原料氣指標

產(chǎn)品氣指標



N2

H2

O2

Ar

He

O2

H2O

CO2

CO

CH4

H2

N2

顆粒度





9VV

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm



9OVV

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm



9VVX

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm



0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm



9X

5N

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm



0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.1ppb

0.003μm



注:常用流量規(guī)格:1-20000Nm3/h;常用壓力:1-20Mpa












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