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4英寸半絕緣型襯底
4英寸半絕緣型襯底

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

4英寸半絕緣型襯底

品牌

天科合達(dá)

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無(wú)
北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司

會(huì)員

|

第2年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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核心參數(shù)
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4英寸半絕緣型襯底

技術(shù)成果

零微管密度控制技術(shù)

單一晶型控制技術(shù)

包裹物控制技術(shù)

電阻率控制技術(shù)

雜質(zhì)調(diào)控技術(shù)

襯底臺(tái)階寬度控制技術(shù)

直徑99.5 mm-100.0 mm
晶型4H
厚度500 μm±15 μm
晶片方向無(wú)偏轉(zhuǎn)角度:向<0001>偏轉(zhuǎn) ± 0.5° 
微管密度≤ 1 cm-2
電阻率≥ 1 E10 Ω·cm
主定位邊方向{10-10} ±5.0°
主定位邊長(zhǎng)度32.5 mm ± 2.0 mm
次定位邊長(zhǎng)度18.0 mm ± 2.0 mm
次定位邊方向硅面朝上:從主定位邊順時(shí)針旋轉(zhuǎn) 90° ± 5.0° 
邊緣去除3 mm
局部厚度變化/總厚度變化/彎曲度/翹曲度≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm
表面粗糙度拋光 Ra≤ 1 nm
CMP Ra≤ 0.2 nm
邊緣裂紋(強(qiáng)光燈觀(guān)測(cè))——
六方空洞(強(qiáng)光燈觀(guān)測(cè))累計(jì)面積 ≤ 0.05%
多型(強(qiáng)光燈觀(guān)測(cè))——
目測(cè)包裹物(日光燈觀(guān)測(cè))累計(jì)面積 ≤ 0.05%
硅面劃痕(強(qiáng)光燈觀(guān)測(cè))——
崩邊(強(qiáng)光燈觀(guān)測(cè))不允許寬度≥ 0.2 mm,深度≥ 0.2 mm
硅面污染物(強(qiáng)光燈觀(guān)測(cè))——
包裝多片卡塞/單片盒包裝


半絕緣碳化硅襯底是半絕緣碳化硅晶體經(jīng)過(guò)切割、研磨、拋光、清洗等工序加工形成的單晶薄片。單晶襯底薄片作為第三代半導(dǎo)體的重要原材料,經(jīng)過(guò)異質(zhì)外延生長(zhǎng)、器件制造等環(huán)節(jié),可制成碳化硅基射頻器件,是第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要基礎(chǔ)材料。為滿(mǎn)足客戶(hù)對(duì)4英寸產(chǎn)品的需求,公司為國(guó)內(nèi)外客戶(hù)批量提供具有高性?xún)r(jià)比的4英寸半絕緣型襯底產(chǎn)品。

下游產(chǎn)品與應(yīng)用

通過(guò)在半絕緣型碳化硅襯底上生長(zhǎng)氮化鎵異質(zhì)外延層,制得碳化硅基氮化鎵外延片,通過(guò)晶圓制造、封裝檢測(cè),可進(jìn)一步制成微波射頻器件,主要應(yīng)用于射頻領(lǐng)域,例如5G通訊、相控陣?yán)走_(dá)、無(wú)線(xiàn)電探測(cè)器等。


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4英寸半絕緣型襯底信息由北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于4英寸半絕緣型襯底報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息,歡迎來(lái)電或留言咨詢(xún)。
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