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主要技術(shù)指標：

內(nèi)腔直徑（mm）：300、400、450、550、650、750、定制

真空抽率：從大氣狀態(tài)到4×10-3Pa，需要時間≤15min 

鍍膜室（清潔、空載）極限壓力：≤2×10-4 Pa；

保真空（達到極限壓力，關(guān)閉高閥，1小時）：≤ 9×10-2 Pa

膜厚均勻性：≤±2%；

鍍膜重復(fù)性：≤±2%；

控制程序：

全自動一鍵式操作，保證鍍膜重復(fù)性。

全自動程序有可編程模式和固定模式兩種可供您選擇。

程序設(shè)有三級權(quán)限，便于管理及維護。

所有數(shù)據(jù)實時記錄，可還原成歷史曲線，便于追溯和排查。

關(guān)鍵部件根據(jù)實際使用情況，有維護時間顯示，即節(jié)約成本，又便于維護。