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產(chǎn)品性能：
“熱解+分解”方式，節(jié)能、高效處理太陽能電池PECVD等設(shè)備的廢氣，將SiH4進(jìn)行高溫?zé)峤猓瑢H3直接進(jìn)行分解，無需氨水處理，無需燃?xì)狻?/p>
處理能力，生產(chǎn)型：400/600/1000/1500SLM
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