參考價格
面議型號
BTF-1200C-III-3D-CVD-D210品牌
貝意克產地
安徽合肥樣本
暫無非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
鐵鉻鋁絲燒結氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
800℃額定溫度：
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一、設備組成
此款定制智能型連續(xù)進出料CVD設備包含主要由七大部分，進料腔，大口徑管式爐、出料腔、推拉機構、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、以及自動化控制軟件組成。
1、進料腔：
進料腔密封腔體采用石英管，兩端采用橫向法蘭密封；進料腔左側法蘭上配有一個φ16mm的推料桿，可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下推送載具進入高溫爐內；進料腔右側法蘭通過氣動插板閥與高溫爐鏈接和隔斷，可以實現(xiàn)進料腔和高溫管式爐相互獨立工作，互不干擾。
2、高溫生長爐：
大口徑管式爐采用優(yōu)質電阻絲加熱，**使用溫度可達1100℃，加熱區(qū)長度為300+300+300mm，采用3段控溫且每段上下兩點控溫的方式，可有效提高溫差均勻性；同時系統(tǒng)設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。
3、出料腔：
出料腔密封腔體采用石英管，兩端采用橫向法蘭密封，出料腔右側法蘭上配有一個φ16mm的拉料桿，可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下從高溫爐內將載具拉入出料腔內降溫冷卻；出料腔左側法蘭通過氣動插板閥與高溫爐鏈接和隔斷，可以實現(xiàn)出料腔和高溫管式爐相互獨立工作，互不干擾。
4、推拉機構：
進料腔左側密封法蘭上配有推料桿及軌道；出料腔右側密封法蘭上配有拉料桿及軌道；可以實現(xiàn)真空或惰性氣體保護下將載具推送進高溫爐或將載具拉離高溫爐。
5、供氣系統(tǒng)：
供氣系統(tǒng)包含3部分，進料腔配備1路質量流量計惰性氣體供氣裝置，高溫生長爐配備1路質量流量計惰性氣體混氣裝置，出料腔配備1路質量流量計惰性氣體供氣裝置；共計5路質量流量計。
6、真空系統(tǒng)：
進料腔配備1套機械泵（機械泵抽速16m3/h、型號DRV-16），高溫生長爐1套機械泵（機械泵抽速24m3/h、型號DRV-24），出料腔配備1套機械泵（機械泵抽速16m3/h、型號DRV-16），以及真空計、手動擋板閥、波紋管等連接件共計3套。
7、觸摸屏控制系統(tǒng)：
采用觸摸屏自動控制，參數(shù)設置和操作直觀方便，參數(shù)自動記錄保持，一鍵操作。
二、技術參數(shù)
額定功率 | 18KW |
額定電壓 | AC380V 三相五線制進線開關3P40A |
**溫度 | 800℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤800℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
加熱區(qū)尺寸 | 150+300+150mm |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
控溫 | K型熱電偶 |
冷卻水配置 | 水流量≥6L/min |
氣源配置 | 氣缸動力氣 0.45~0.6Mpa ≥300L/min；工藝氣體0.1~0.3Mpa |
爐體尺寸 | 爐體：6150*860*1900mm |
設備凈重 | 850KG |
暫無數(shù)據(jù)！
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