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NRL180A干式真空泵
NRL180A干式真空泵

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

品牌

寧波愛(ài)發(fā)科

產(chǎn)地

浙江

樣本

暫無(wú)
寧波愛(ài)發(fā)科真空技術(shù)有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

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特長(zhǎng)

NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

低噪音、低振動(dòng)

優(yōu)良的耐腐蝕性

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

選購(gòu)件

可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮?dú)饬髁块_(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。


用途

?  活性氣體(CVD、刻蝕等)。

?  排出非活性氣體(濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)。

?  用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)

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