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面議型號(hào)
水平雙腔外延爐品牌
杭州晶馳產(chǎn)地
浙江樣本
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產(chǎn)品詳情
1、水平雙腔布置,硬件成本低于兩臺(tái)單腔外延爐;
2、雙腔工藝和維護(hù)獨(dú)立,實(shí)現(xiàn)不停機(jī)連續(xù)生產(chǎn)；
3、兼容4/6寸晶圓外延生長(zhǎng),外延層質(zhì)量?jī)?yōu)異;
4、全自動(dòng)上下料，釋放人工成本;
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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