產(chǎn)品介紹 Product Introduction

NIM型真空紫外光譜儀，采用Seya- Namioka光路結(jié)構(gòu)，入射狹縫和CCD探測(cè)器位于羅蘭圓上，可以單色模式和光譜模式切用 。

產(chǎn)品特點(diǎn)/ CHARACTERISTIC

● 波?范圍較寬

● 在線精密可調(diào)狹縫

● 可擴(kuò)展空間維聚焦

● 可進(jìn)?系統(tǒng)集成服務(wù)

● 結(jié)構(gòu)緊湊集成度?

● ?真空兼容性

主要參數(shù)/ PARAMETERS

●光柵類型： 球?光柵

● 波?范圍： 80nm~200nm

● 光譜分辨率： 0.16nm@167nm

● 波?精度： 根據(jù)需求設(shè)計(jì)

● 探測(cè)器類型： 科研級(jí)相機(jī)

● 狹縫寬度： 0.01~3mm在線連續(xù)可調(diào)

測(cè)試數(shù)據(jù)/TEST DATA