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型號：美國CDE ResMap 178
技術參數：
﹡測量尺寸：2~8寸晶圓
﹡測量速度：大于49點/分鐘
﹡測量范圍：1mΩ sq-1 ~5MΩ sq-1
﹡測量重復性：≤±0.02%
﹡精確度：＜0.1%
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