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產(chǎn)品描述
石墨舟核心技術
· 二次純化工藝，直接提高材料的純度，長周期工況條件下，石墨舟各點電阻率仍保持優(yōu)異的均勻一致性，保證電流均勻，降低鍍膜色差，同時有效減緩石墨舟的氧化，提高壽命。
· 舟葉表面C-coating涂層工藝，舟頁表面平面度、光潔度更好，使舟頁和硅片之間接觸面積更大，飽和以后使用次數(shù)增加，舟使用壽命延長。
· Balance加工工藝，**限度消除石墨舟片內應力，長周期使用后不易變形，有效減少熱延展80%以上。
石墨舟核心指標
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