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碳化硅原料合成爐 HC-SCET1000系列品牌
南京晶升產(chǎn)地
江蘇樣本
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◆ 設備采用分段式高純度石墨電阻加熱及熱場結構，溫場均勻性好；
◆ 通過氣流路徑優(yōu)化與熱場防護技術，具有高腐蝕性氣氛下排雜、雜質的定向沉積與熱場穩(wěn)定的特點；
◆ 可滿足高品質碳化硅原料合成;設備**裝料量達到100KG，大幅提升了原料合成效率。
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