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單晶爐是軟軸提拉型晶體生長設(shè)備，在低于常壓的惰性氣體環(huán)境中，以石墨電阻加熱器加熱，將填充在石英坩堝內(nèi)的多晶硅材料熔化，用直拉法生長無位錯的高質(zhì)量單晶設(shè)備。目前可生產(chǎn) CZ160 型及以上單晶爐設(shè)備。
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