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儀器簡介：
性能指標
稀釋氣入口數(shù)：1
源氣入口數(shù)：3
稀釋質(zhì)量流量控制器：0～10L/min（可擴展）
標氣質(zhì)量流量控制器：0～100ml/min（可擴展）
流量準確度：±1.0%
流量重復(fù)性：0.15%F.S
線性：±0.15%F.S
氣體壓力：100kPa～200kPa
響應(yīng)時間：T90≤60s
稀釋率：100:1～1000:1(標準)
輸出通道：3
工作環(huán)境溫度：0℃～40℃
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