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儀器簡介：

此系統(tǒng)通過手動(dòng)或自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的點(diǎn)電阻或面電阻進(jìn)行測(cè)量表征，可通過圖譜，數(shù)據(jù)，2D或3D方式體現(xiàn)；儀器與電腦連接使用，可通過專業(yè)軟件進(jìn)行控制，分析。表面電阻(ohm/sq)，電阻率（ohm.cm)測(cè)試?yán)硐氲墓ぞ摺?/p>

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏。。。

技術(shù)參數(shù)：

面電阻測(cè)量：

- 測(cè)量模式 : 接觸式 4-探針

電阻率測(cè)量：

- 測(cè)量模式 : 接觸式 4-探針 (可輸入厚度)

軟件系統(tǒng)：

- 測(cè)量條件靈活 : Wafer type， 點(diǎn)間隔測(cè)量， etc.

- 儲(chǔ)存& 下載 : 數(shù)據(jù)， wafer 型， 測(cè)試點(diǎn)， etc.

- 數(shù)據(jù)分析 : 2D， 3D mapping， data map， etc.

- On/Off : 電腦操控， 真空

- 數(shù)據(jù) & mapping 可打印

測(cè)量模式 (S/W)

-自動(dòng)檢測(cè): Point interval designation by user

-快速檢測(cè) : ASTM & SEMI Mode

-點(diǎn)測(cè)量: Appointment on wafer by mouse

-手動(dòng)檢測(cè) : Appointment on wafer by arrow key

主要特點(diǎn)：

-X，Y，Z-軸全自動(dòng)控制系統(tǒng)

-自動(dòng)& 手動(dòng)范圍可選

-樣品臺(tái)尺寸可根據(jù)客戶訂制

-通過PC進(jìn)行控制

-數(shù)據(jù)分析 (2D， 3Dmap etc)

-ASTM & SEMI 快速測(cè)量模式