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一．產(chǎn)品特點(diǎn)

• 儀器管路經(jīng)鈍化處理，零死體積管路設(shè)計(jì)，等特殊工藝保證了系統(tǒng)的惰性，可靠性更高，使用壽命更長(zhǎng)

• 進(jìn)樣預(yù)處理系統(tǒng)和切換閥均采用帶吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)口自動(dòng)閥，可防止空氣混入、提高系統(tǒng)的密閉性

• 配置氣體分離專(zhuān)用微填充柱和高效毛細(xì)管柱，配合分離預(yù)切再分離技術(shù)，實(shí)現(xiàn)樣品更高分離度

• 采用了先進(jìn)的10/100M自適應(yīng)以太網(wǎng)接口，實(shí)現(xiàn)全網(wǎng)絡(luò)反控，工作站界面簡(jiǎn)單，數(shù)據(jù)處理功能強(qiáng)大。

• 采用成熟的多閥多柱，中心切割和反吹技術(shù)，國(guó)際先進(jìn)的設(shè)計(jì)工藝，穩(wěn)定可靠的高純氣體分析色譜技術(shù)解決方案

氦離子檢測(cè)器

二．技術(shù)參數(shù)

◆溫控系統(tǒng)

柱箱溫度范圍：室溫+5℃～450℃

溫度設(shè)定精度：0.01℃

溫控?cái)?shù)量：8路獨(dú)立控溫系統(tǒng)

程序升溫速度：0.1～40℃/min

智能后開(kāi)門(mén)：進(jìn)出風(fēng)量無(wú)級(jí)可調(diào)

降溫速度：從350℃降至50℃＜7min

程序升溫階數(shù)：16階（可擴(kuò)展）

*長(zhǎng)一次運(yùn)行時(shí)間：999.99min

◆進(jìn)樣系統(tǒng)

控制方式：壓力/流量控制

流量：氣體**流量為1000SCCM

靈敏度：0.01SCCM

輸出偏移量（精度）：±5%

分流比：**5000:1

電磁閥：高速切換電磁閥壽命長(zhǎng)(10mS，100萬(wàn)次)

進(jìn)樣閥：可搭載多個(gè)進(jìn)口自動(dòng)控制閥，可自動(dòng)序列運(yùn)行

◆檢測(cè)器及純化器系統(tǒng)

檢測(cè)氣體類(lèi)型：H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2等

放電模式：脈沖放電

基線噪聲：≤0.05mv

基線漂移：≤0.2mv/30min

檢測(cè)限：10ppb（甲烷）

重復(fù)性：RSD≤3%

可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe等

**操作壓力：1000Psi

去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3等

殘留濃度：≤10ppb

*低檢測(cè)指標(biāo)：

三．適用標(biāo)準(zhǔn)：

GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》

GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》

GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》 GB/T 14601-2009《電子工業(yè)用氣體 氨》

GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》GB/T 18994-2003《電子工業(yè)用氣體 高純氯》

GB/T 14851-93《電子工業(yè)用氣體 磷化氫》 GB/T 14603-2009《電子工業(yè)用氣體 三氟化硼》

GB/T 28125.1-2011《空分工藝中危險(xiǎn)物質(zhì)的測(cè)定》

四．典型譜圖：