CCS-UHV超高真空系統

Janis有多種用于UHV系統的設計，包含非烘烤系統和烘烤系統。

非烘烤UHV系統

閉循環(huán)制冷機系統可以配備CF法蘭，UHV兼容的溫度計和引線，匹配用戶的樣品腔。由于冷頭直接連接恒溫器樣品室，冷頭溫度不能超過350K，所以整個閉循環(huán)制冷機系統不可烘烤。具體圖紙請查看下圖。

可烘烤UHV系統

Janis 10K制冷機結合減振設計，系統通過氦氣交換氣體和橡膠波紋管隔離冷頭與樣品間的振動。冷頭與樣品之間無機械性連接，由交換氣體提供熱接觸，而冷頭單獨支撐。該設計的冷頭便于拆除烘烤，可應用于真正的超高真空系統。下圖為基于10K冷頭的UHV減振系統圖紙。

CCS-XG-UHV-204

Model CCS-XG-UHV-204 是一款專門為超高真空設計的恒溫器，可以匹配用戶的超高真空腔。該恒溫器采用交換氣體隔振技術，冷頭便于拆卸，是一款真正的UHV系統，烘烤溫度可達500K。該款恒溫器允許烘烤時將冷頭和波紋管拆卸，烘烤完閉，重新安裝冷頭和波紋管，通入交換氣體降溫，整個過程可以保持樣品周圍的UHV環(huán)境。請參考圖紙下面的圖紙CCS-100-XG-UHV-204。

標準配置：

lModel CH-204二級冷頭和水冷壓縮機

l交換氣體減振設計，柔性波紋管連接冷頭和恒溫器

l交換氣體多支管帶泵抽口和交換氣體導入口

l外部真空罩上安裝有6-pin UHV電學接頭，抽真空閥、減壓閥

l6”可旋轉刀口法蘭匹配UHV腔

lUHV兼容的無氧銅樣品座帶有加熱器和UHV兼容的溫度計