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裝置概述
本臭氧提純系統(tǒng)采用液氮冷凝提純方式，臭氧通道全部采用316L不銹鋼、石英玻璃等耐腐蝕材料，極大的避免了提純過(guò)程引入其它雜質(zhì)的可能性。另外，配有智能氣壓監(jiān)控、高強(qiáng)度氣密室、爆炸防護(hù)等特殊設(shè)計(jì)，提高了操作的便利性和安全性。該裝置適用于OMBE、PLD、氧催化系統(tǒng)等需要高純氧化氣氛的系統(tǒng)。
技術(shù)參數(shù)
**臭氧量：2克供氣壓力：1.0 X 10 - 7Torr~ 10Tcrr
冷卻方式：液氮
供氣方式：加熱揮發(fā)
熱偶：K型
供氣接口：CF或VCR接頭
溫控方式：數(shù)字PID
通訊接口：LAN
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